作為半導(dǎo)體制造核心設(shè)備，晶圓貼片機(jī)的貼裝精度和效率直接決定芯片生產(chǎn)質(zhì)量與產(chǎn)能，進(jìn)而深刻影響半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)程。
隨著半導(dǎo)體制程不斷向更小節(jié)點(diǎn)推進(jìn)，晶圓貼片機(jī)的精度也有了顯著提升。如，國外先進(jìn)貼片機(jī)精度可做到±1μm，國產(chǎn)最新貼片機(jī)也能達(dá)到±3μm。
如今，貼片機(jī)技術(shù)成熟，能滿足不同尺寸、形狀、類型芯片的貼裝需求，不管是傳統(tǒng)方形芯片、異形芯片，還是先進(jìn)封裝形式芯片都能應(yīng)對，支持倒裝芯片封裝、扇出型晶圓級封裝、2.5D/3D 封裝等多種工藝，這些都離不開各步驟環(huán)節(jié)的精度提升。在貼裝過程中，機(jī)器視覺、激光定位與高精度運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)深度融合，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測并動(dòng)態(tài)調(diào)整，確保芯片與晶圓實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)連接。與此同時(shí)，它還能自動(dòng)檢測和識別晶圓及芯片的各類參數(shù)與缺陷，并依據(jù)預(yù)設(shè)規(guī)則自動(dòng)調(diào)整處理，有效減少人工干預(yù)，提高生產(chǎn)效率的同時(shí)，保障了產(chǎn)品的一致性。
不僅如此，設(shè)備的機(jī)械結(jié)構(gòu)與控制系統(tǒng)持續(xù)升級，從晶圓上料、芯片拾取、貼裝到下料，全流程實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化。通過各項(xiàng)優(yōu)化設(shè)計(jì)，貼裝頭的運(yùn)動(dòng)速度和精準(zhǔn)度幅提升，芯片取放時(shí)間顯著縮短，以此極大的提高了貼裝效率。在晶圓制造中，貼裝精度將直接影響著芯片的性能和質(zhì)量。晶圓貼片機(jī)需要將電子元件準(zhǔn)確地貼裝到晶圓的指定位置上。Mark點(diǎn)作為已知的固定位置參考點(diǎn)，能幫助貼片機(jī)的視覺系統(tǒng)快速確定晶圓在工作臺上的精確坐標(biāo)位置，從而建立起貼裝的基準(zhǔn)坐標(biāo)系，避免元件貼裝偏移、錯(cuò)位等問題，進(jìn)而提高了芯片的良品率。對于一些對精度要求極高的芯片，如高端處理器、存儲器等，Mark點(diǎn)的精準(zhǔn)定位作用尤為關(guān)鍵。在晶圓貼片機(jī)中，定位原理主要基于機(jī)器視覺技術(shù)與精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)，它們相輔相成，共同保障貼裝的準(zhǔn)確性，重要性不言而喻。慕藤光作為智能成像光學(xué)系統(tǒng)引領(lǐng)者，針對Mark點(diǎn)識別等技術(shù)難題，給出了專業(yè)的視覺檢測解決方案。
慕藤光MF超清系列產(chǎn)品，能夠識別檢測到最小的Mark點(diǎn)邊緣尺寸，單像素精度可達(dá)0.34μm。目前，已廣泛應(yīng)用于大量貼合機(jī)檢測實(shí)例。在實(shí)際應(yīng)用中，該系列產(chǎn)品配備超高精度鏡頭，最大可兼容22像面，能呈現(xiàn)清晰、細(xì)膩的圖像，有效解決Mark點(diǎn)檢測困難等難題。除了上述的性能特征，慕藤光MF超清系列產(chǎn)品還可精準(zhǔn)識別各類缺陷。它不僅精度超高，還大幅提升視野清晰度，憑借優(yōu)秀的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)整個(gè)視野內(nèi)無場曲、無單色差，無論觀察視野中心還是邊緣區(qū)域，成像都清晰準(zhǔn)確，不會出現(xiàn)變形、模糊或色彩偏差等問題，在晶圓貼片機(jī)的應(yīng)用中，可以做到精準(zhǔn)識別毛刺缺陷。
不僅如此，慕藤光MF超清系列產(chǎn)品兼容性極佳，可適配各類顯微鏡，還能充分滿足各種特殊成像需求。在攻克貼合機(jī)Mark點(diǎn)識別以及毛刺缺陷識別等技術(shù)難題的項(xiàng)目實(shí)踐中，慕藤光憑借不斷的探索與創(chuàng)新，積累了深厚的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，形成了一系列先進(jìn)技術(shù)方案。
基于對客戶需求的深度理解，慕藤光可依據(jù)客戶產(chǎn)品的特殊結(jié)構(gòu)，對產(chǎn)品配置進(jìn)行針對性優(yōu)化，量身定制專屬顯微成像方案，提供自動(dòng)跟焦、激光對焦等智能成像光學(xué)系統(tǒng)的定制化服務(wù)，為客戶提供專業(yè)優(yōu)勢技術(shù)領(lǐng)先的光學(xué)系統(tǒng)解決方案。
一直以來，慕藤光始終堅(jiān)守 “專業(yè)、創(chuàng)新、高效、進(jìn)取” 的企業(yè)核心價(jià)值觀，將客戶需求置于首位，憑借深厚的光學(xué)研發(fā)實(shí)力和豐富的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，不斷探索鉆研，為客戶打造多元化、全方位的配套解決方案，持續(xù)為光學(xué)領(lǐng)域的蓬勃發(fā)展貢獻(xiàn)標(biāo)桿力量。
